@article{oai:cist.repo.nii.ac.jp:00000605, author = {カートハウス, オラフ and KARTHAUS, Olaf}, issue = {1}, journal = {千歳科学技術大学フォトニクス研究所紀要, Bulletin of Photonics Research Center, Chitose Institute of Science and Technology}, month = {Mar}, title = {無機酸化物のマイクロパターニング}, volume = {1}, year = {2011} }